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LED基板研磨砂轮
         在半导体元器件的前段加工中,晶圆基板的减薄研磨需要用各种各样的钻石砂轮,常用的LED基板有砷化镓(GaAs)和人造蓝宝石(即单晶氧化铝)。在对这两种材料的减薄研磨中。必须保证基板的平行度和表面粗糙度.同时整个晶圆不得有任何细微的裂纹。这就对所使用的钻石砂轮提出了很高的要求,我们经过与公司客户密切合作,开发出了适合这两种材料的砂轮。



LED基板研磨砂轮规格:
结合剂 形状 D W X H 粒度 用途
陶瓷
金属
6A2 150 3-10 5-10 M12*1.75 D300-3000 蓝宝石 / 砷化镓
6A9S 254 4 8+1 155 D300-3000 硅晶圆回收
6A9S 254 3-4 10+2 155 D300-400 蓝宝石

结合剂       形状 适用于GaAs等半导体材料的平面研磨
  D X U L H 粒度
树脂  6A9 150 3 8 20 M12 D400-2000
其它规格可根据客户要求制作。
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